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羅茨螺桿真空泵機(jī)組

化工和醫(yī)藥、半導(dǎo)體、溶劑回收、成型、結(jié)晶、干刻、濺鍍、蒸汽回收、高空模擬。

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羅茨螺桿真空泵機(jī)組

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圖文詳情

　　羅茨真空泵是在0.1-1000Pa真空范圍具有較大抽速且成本較低的設(shè)備，他可以與多種真空泵組合組成真空機(jī)組，在較低壓力時有效的提高抽速，擴(kuò)大前級泵抽速范圍。組合干式螺桿真空泵使用可確保被抽容器更加潔凈，系統(tǒng)更可靠。所有產(chǎn)品在出廠前都做動平衡和泄露測試。

　　氣體通過進(jìn)氣管路吸入泵腔內(nèi)，由主真空泵排放至前級泵吸入口。由于轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子和機(jī)器外殼間隙較小(0.2~0.6mm)，所以本產(chǎn)品可以實現(xiàn)潔凈真空排放，即機(jī)器外殼和轉(zhuǎn)子無需使用潤滑油。同時，因為轉(zhuǎn)子和機(jī)器外殼無接觸，即轉(zhuǎn)子在高速旋轉(zhuǎn)時(最高3600rpm)，也可以實現(xiàn)轉(zhuǎn)子的半永久式使用。本產(chǎn)品不采用機(jī)械密封，長期化學(xué)作用不會導(dǎo)致軸承污染。

羅茨螺桿真空泵機(jī)組典型應(yīng)用

化工和醫(yī)藥、半導(dǎo)體、溶劑回收、成型、結(jié)晶、干刻、濺鍍、蒸汽回收、高空模擬。

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